工业母版制造：高精度微纳加工支撑批量复制生产

母版精度要求不断提升

在微纳光学、反光材料、精密压印等领域，工业母版是批量复制微纳结构的核心工具，母版的精度、表面质量直接决定最终产品的性能。随着终端产品对微结构精度要求的持续提升，传统机械加工、化学蚀刻等母版制备工艺已难以满足亚微米级、纳米级的高精度需求。

多技术路线适配多元场景

杭州玉之泉依托多类型激光微纳加工设备，可覆盖不同精度、不同类型的工业母版制造需求。针对纳米级高精度光学母版，MPD 双光子三维激光直写光刻系统可制备真三维复杂微纳结构，稳定量产级横向分辨率 50nm，表面粗糙度低，适用于超透镜、微透镜阵列、衍射光学元件等光学结构母版的制备。针对亚微米级工业母版，AOD 紫外激光直写光刻系统最小特征尺寸 300nm，可在硬质基板上制备高精度微结构图案，适配反光材料、精密压印等场景的母版加工。针对大尺寸快速母版制备，UVD 数字投影无掩膜光刻系统可实现高速图形曝光，提升母版生产效率。

直写工艺保障母版品质

激光直写制备工业母版无需掩膜，可直接数字化加工，图形调整灵活，能够快速响应不同客户的定制化需求。真三维加工能力可制备复杂形貌的母版结构，突破传统平面工艺的形貌限制。加工过程可控性强，线宽精度、结构深度一致性高，制备的母版使用寿命长，复制一致性好，可满足批量生产的需求。

定制加工实现快速交付

玉之泉加工服务中心可提供工业母版定制加工服务，支持客户从图纸到母版样品的全流程交付。配套表征检测能力可对母版的关键尺寸、表面形貌、粗糙度等指标进行检测，确保母版精度符合后续批量复制的工艺要求。小批量母版可直接通过加工服务制备，无需采购大型设备，大幅降低前期投入。

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