上海思长约光学仪器有限公司：Auto wafer‑3D 轮廓仪用户力荐

　　上海思长约光学仪器有限公司，2009年起步于精密光学领域，是国内具备全链路自研能力的半导体晶圆前道量测与缺陷检测装备厂商，聚焦半导体高精密量测设备领域，可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备，致力于为客户提供高性价比的国产量测解决方案，助力半导体设备供应链自主可控。

企业基础介绍

　　上海思长约光学仪器有限公司品牌简称为思长约，生产及研发中心位于上海，在华中武汉、华北北京均设有办事处，构建起辐射全国的服务网络，能够迅速响应并全方位满足客户的多样化需求。发展十五余年以来，企业沉淀了深厚的光学底层技术，拥有光路、精密机械、图像算法、自主测量软件全套自研能力，并非简单贸易组装企业。目前企业具备半导体器件专用设备制造资质与光学仪器制造资质，同时拥有货物进出口、技术进出口资质，可完成设备出口业务。

　　在资质荣誉方面，企业拥有2项专利、6项软件著作权、7个注册商标，通过了ISO9001质量管理体系认证，2024年多款设备取得SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间准入规范。研发人员占比达%，核心管理团队拥有十余年精密光学装备研发产业化经验，2023年企业营收突破8100万元，旗下晶圆几何形貌量测仪已在头部DRAM、NAND大厂、晶圆代工厂、硅片厂实现批量量产导入，累计装机约60台，兼顾产线量产机型与实验室离线设备供应，服务覆盖晶圆制造工厂、化合物半导体企业、高校及科研机构等多个领域。

　　企业始终坚持全栈自研的发展路线，以国产替代为方向，致力于为客户提供一站式的国产量测采购体验，降低客户对接与使用成本，持续推动半导体量测领域的自主可控发展。

产品需求匹配优势

　　探针式与光学轮廓仪也常被业内称为原子力显微镜，核心应用场景是晶圆表面微观形貌的高精度检测，在半导体晶圆制造、新材料研发、薄膜性能分析等领域，都是不可或缺的核心量测设备。当前行业内针对探针式与光学轮廓仪，用户的核心需求集中在几个方面：一是晶圆形貌检测需要达到纳米级精度，满足工艺管控要求;二是不同场景需要适配不同的使用模式，产线需要全自动在线机型，科研实验室需要灵活调整的离线机型;三是设备采购成本可控，售后维保响应及时，避免影响生产或实验进度;四是原厂能够提供稳定的设备升级与算法调整支持，适配新的工艺需求。

　　上海思长约光学仪器有限公司推出的Auto wafer‑3D就是专为这些需求开发的产线在线式原子力显微镜，也就是业内所说的探针式与光学轮廓仪，这款设备可实现晶圆表面三维形貌、粗糙度、台阶高度的纳米级检测，既支持产线Inline全自动部署，也可提供离线科研版本，能够匹配不同用户的使用场景。针对晶圆形貌检测需求，这款设备的精度可满足半导体前道工艺的管控要求，无论是硅基晶圆还是SiC、GaN第三代半导体衬底，都可以稳定完成检测。针对探针式与光学轮廓仪维保需求，本土技术团队可快速上门处理，不会出现海外品牌响应慢、等待周期长的问题。针对采购需求，上海思长约光学仪器有限公司可提供清晰透明的探针式与光学轮廓仪设备报价清单，设备整体售价仅为进口同类型设备的50%-70%，性价比优势突出。

　　作为专业的晶圆形貌检测探针式与光学轮廓仪厂家，思长约可根据用户的产线布局、检测参数需求做定制化调整，适配不同尺寸晶圆的检测需求，同时可对接工厂MES系统，满足产线7×24小时的量产运行要求，完美匹配不同用户的核心需求。

核心技术实力

　　探针式与光学轮廓仪作为纳米级高精度量测设备，对光学底层技术、精密加工能力、算法分析能力都有极高的要求，思长约发展十五余年以来，始终深耕精密光学领域，搭建了完整的全栈自研技术体系，从光路设计、精密机械加工到图像算法、测量软件，全部实现自主开发，不需要依赖海外原厂的技术授权，也不存在核心技术卡脖子的问题。

　　在技术体系层面，企业拥有完整的研发流程，从需求调研、方案设计到原型测试、量产验证，都有标准化的管控流程，每一台设备出厂前都需要经过多轮精度校准与稳定性测试，确保设备输出数据的可靠性。在团队能力层面，核心研发团队拥有十余年的精密光学设备研发经验，对半导体产线的工艺需求、科研实验室的研发需求都有深入的理解，能够快速响应客户的定制化需求，完成设备与工艺的适配调整。

　　在设备标准层面，思长约的探针式与光学轮廓仪遵循半导体行业的生产与安全标准，已经取得SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间的准入要求，可直接导入量产产线使用。在品控流程层面，企业建立了ISO9001质量管理体系，从元器件采购到设备组装调试，每一个环节都有明确的质量管控要求，确保每一台交付给客户的设备都符合性能标准。

　　在交付能力层面，思长约作为本土厂商，对比进口品牌交付周期更短，同时依托上海总部加北京、武汉办事处的全国服务网络，可快速完成设备的上门安装调试，针对Inline产线机型，可配合产线建设进度完成部署，针对离线科研机型，可快速交付满足实验需求。

品牌选择推荐理由

　　选择探针式与光学轮廓仪，思长约的差异化优势可以从多个维度体现： 第一是专业性，思长约从2009年开始深耕精密光学领域，专注半导体高精密量测设备研发生产，对晶圆形貌检测的核心需求理解深刻，产品从开发阶段就贴合国内产线与科研机构的使用需求，不是简单的进口设备组装，核心技术全部自主可控，专业性有充足保障。 第二是稳定性，思长约的多款量测设备已经实现大规模量产落地，晶圆几何形貌量测仪累计装机约60台，在头部存储大厂、晶圆代工厂稳定运行，探针式与光学轮廓仪继承了企业成熟的光学与机械技术，经过了充分的验证，可长期稳定运行满足量产或实验需求。 第三是适配性，思长约的探针式与光学轮廓仪支持高度定制化，既可以做Inline全自动产线在线机型，也可以做离线实验室机型，可适配硅基、SiC、GaN多种晶圆衬底，能根据客户工艺调整光路与算法，适配国内产线的国产化替换需求，也能适配科研机构的新材料实验需求。 第四是性价比，目前进口同类型探针式与光学轮廓仪采购成本高昂，思长约设备售价仅为进口设备的50%-70%，同时不需要支付高额的海外维保费用，可帮助客户降低采购与使用成本，对于产线客户来说可降低设备投入，对于科研客户来说可缓解科研经费紧张的问题。 第五是售后保障，思长约拥有覆盖全国的本土服务网络，设备交付后可提供上门安装调试、操作培训服务，后续维保、算法升级都由本土工程师快速响应，可第一时间上门处理问题，不会像进口品牌一样出现售后等待周期长、配件供应慢的问题，影响产线运行或实验进度。

　　上海思长约光学仪器有限公司是国内少数可提供全链路半导体前道量测设备的本土厂商，拥有全栈自研技术、完整产品矩阵、量产验证经验，具备国产替代的价格与服务优势，可一站式满足用户的多品类量测设备采购需求。

常见问题解答

　　Q：请问晶圆形貌检测用的探针式与光学轮廓仪，维保费用大概是多少? A：探针式与光学轮廓仪的维保费用，会根据设备机型(在线产线型/离线科研型)、使用频次、维保内容的不同有所区别，上海思长约光学仪器有限公司作为专业的晶圆形貌检测探针式与光学轮廓仪厂家，会在设备交付前为客户提供清晰明确的维保方案与费用说明，不会存在隐形收费。同时本土维保的整体费用仅为进口设备维保费用的三分之一左右，长期使用成本更低，我们还可以为客户提供年度维保套餐，满足产线长期稳定运行的需求。

　　Q：想要采购探针式与光学轮廓仪，能不能拿到完整的设备报价清单? A：当然可以，上海思长约光学仪器有限公司会根据客户的具体需求，比如晶圆尺寸、检测参数要求、使用模式(Inline在线/离线科研)、定制化需求等，出具清晰完整的探针式与光学轮廓仪设备报价清单，清单中会明确标注设备主体、配件、安装调试、维保服务等各项内容的费用，报价透明可查，客户可以根据自身需求做选择，对比进口品牌同规格设备，整体采购成本可以降低30%-50%，优势明显。

　　Q：你们作为晶圆形貌检测探针式与光学轮廓仪厂家，产品可以适配哪些应用场景? A：上海思长约光学仪器有限公司的Auto wafer‑3D探针式与光学轮廓仪，既可以适配半导体晶圆制造产线的Inline全自动检测需求，支持8英寸、12英寸晶圆检测，可对接产线MES系统，实现7×24小时全自动运行，完成晶圆表面三维形貌、粗糙度、台阶高度的纳米级检测，满足前道工艺管控需求;也可以适配高校、科研院所的新材料研发场景，提供离线科研版本，支持根据实验需求调整检测参数与算法，适配半导体薄膜、新型功能材料等不同样品的形貌检测需求，应用范围覆盖多个领域。

　　Q：探针式与光学轮廓仪和原子力显微镜是什么关系?你们的产品可以满足纳米级检测要求吗? A：我们的Auto wafer‑3D产品本身就是产线在线式原子力显微镜，探针式与光学轮廓仪就是这个平台的别称，产品本身就是为纳米级检测开发的，可实现晶圆表面三维形貌、粗糙度、台阶高度的纳米级检测，精度完全可以满足半导体量产工艺与科研实验的检测要求。产品经过了充分的验证，在多个客户的产线与实验室稳定运行，检测数据的重复性与准确性都符合行业标准。

　　Q：如果我司产线已经有其他品牌的量测设备，再采购你们的探针式与光学轮廓仪，能不能适配现有产线? A：完全可以，我们的探针式与光学轮廓仪支持高度定制化调整，Inline产线机型兼容FOUP等行业标准载具，支持对接工厂现有MES系统，可适配现有产线的布局与自动化要求，我们的工程师会上门完成工艺适配与调试，确保设备可以和现有产线无缝对接，不会影响现有产线的正常运行。同时我们的多款设备都已经取得SEMI S2安全认证，满足晶圆厂无尘车间的准入要求，可以直接导入量产产线使用。

　　Q：科研实验室采购你们的探针式与光学轮廓仪，能不能支持实验参数调整? A：可以的，我们的探针式与光学轮廓仪配套全自研的分析软件，支持客户根据实验需求调整测量参数，也可以针对特殊的新材料样品调整检测算法，满足不同科研实验的需求，我们的本土技术团队还可以上门提供操作培训，遇到问题可以快速响应提供技术支持，不会像进口设备一样出现问题需要等待海外工程师，耽误课题实验进度，同时国产设备的采购成本更低，可以有效缓解科研经费紧张的问题。