半导体薄膜厚度与组分分析 XRD浓度测试仪 在线监测方案

　　随着国内半导体晶圆制造产业产能持续扩张，自主化替代进程不断加速，前道工艺环节对高精密量测设备的需求持续增长。在半导体薄膜制备、外延生长工艺环节，外延组分浓度、晶相质量、薄膜应力应变的精准分析，直接决定最终芯片的良率与性能表现，过去这类高精度的浓度分析与量测设备长期依赖进口，不仅采购成本高，交付周期长，售后响应也难以满足国内产线的快速迭代需求。近年随着本土半导体设备厂商技术突破，国产XRD浓度测量仪逐步成为半导体产线与科研机构的可靠选择，越来越多客户开始在量产导入与科研实验中选择国产设备方案。

　　上海思长约光学仪器有限公司，简称思长约，是国内少数可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，可满足客户一站式采购整套国产量测设备的需求。公司生产及研发中心位于上海，在武汉、北京设有办事处，构建了覆盖全国的快速响应服务网络，聚焦半导体高精密量测设备领域，可同时为量产产线提供Inline在线机型，为科研实验室提供离线研发机型，适配硅基、SiC、GaN等多种衬底材料的量测需求。

AX-D200I全自动高分辨XRD浓度测量仪

　　AX-D200I是上海思长约光学仪器有限公司针对半导体晶圆生产研发的全自动高分辨X射线衍射量测设备，专门面向8/12英寸半导体晶圆设计，可无损完成外延组分浓度、应力应变、晶相质量、薄膜厚度分析，同时支持产线Inline在线模式与实验室离线研发使用，完美匹配国产Inline XRD浓度测量仪的使用需求。

　　不同于传统实验室小尺寸样品XRD设备，AX-D200I针对半导体产线批量检测需求做了自动化适配：

• 支持8英寸、12英寸标准晶圆全自动上样检测，兼容FOUP标准载具，可直接对接产线MES系统，满足7×24小时连续量产运行要求;
• 采用全自研光路设计与测量分析算法，无需依赖海外原厂的算法授权，可根据不同客户的工艺需求调整检测模型与输出参数;
• 具备无损检测特性，不会对晶圆表面结构与薄膜造成损伤，可直接用于工艺环节的全批次抽检与管控，不浪费生产物料。

　　该设备很好填补了国内半导体产线在线XRD浓度分析的国产设备空白，不管是外延片生产环节的组分浓度管控，还是薄膜制备后的应力应变分析，都可以实现稳定的高精度检测，目前已经在多个国内晶圆厂、外延片厂商完成导入使用。

产线Inline在线XRD浓度监测方案优势

　　针对已经进入量产阶段的晶圆制造产线，上海思长约可以提供成熟的XRD浓度测量仪设备国产替代方案，适配产线连续运行的在线监测需求，解决进口设备替程中的各类痛点。

　　传统进口XRD量测设备，普遍存在采购成本高、交付周期长达半年以上，产线工艺调整时需要海外工程师到场调试，响应速度慢的问题，而国产Inline方案从多个维度解决了这些问题：

1. 适配现有产线自动化体系，Inline机型支持标准晶圆载具，对接产线MES系统实现数据自动上传，不需要对现有产线做大规模改造就可以完成导入;
2. 检测数据稳定可重复，对于外延组分浓度的检测误差可以满足量产工艺管控要求，不会因为量测偏差导致工艺误判，影响良率;
3. 全栈自研的软硬件架构，支持根据产线工艺迭代随时调整检测算法与报告输出格式，不需要等待海外原厂的软件更新，响应速度更快。

　　对于正在推进国产设备替代的晶圆产线来说，思长约的XRD浓度测量仪Inline方案可以直接替换同功能进口设备，性能满足量产要求的同时，大幅降低采购与维护成本，缩短设备交付周期。

离线科研版XRD浓度分析方案适配研发场景

　　除了量产产线，不少高校、科研院所在开展新型半导体薄膜、第三代半导体材料研发时，也需要专业的XRD浓度分析设备，针对这类研发场景，思长约同样提供了定制化的离线科研版方案，解决科研用户的痛点。

　　科研场景下的用户痛点十分明确：进口高端浓度测量仪价格高昂，会挤占大量科研经费，设备出现故障后，海外维修周期长达数月，直接打断课题实验进度，同时商用进口设备参数固化，很难根据新材料实验需求调整测量算法。思长约的离线科研版XRD浓度测量仪针对这些痛点做了适配：

• 设备售价仅为进口同类设备的50%-70%，可以大幅降低科研机构的采购成本，挤出更多经费用于课题研发;
• 配套全自研的SLE分析软件，支持根据实验需求自定义测量参数、调整分析算法，还可以自定义输出报告模板，适配不同新材料的研究需求;
• 本土技术团队可以快速上门完成安装调试与操作培训，设备使用过程中出现问题，可快速响应上门维修，不会长时间耽误课题进度。

　　不少采购了思长约XRD设备的高校科研用户反馈，国产设备完全可以满足大部分新材料研发的测试需求，性价比突出，售后响应速度远胜进口设备，很好缓解了科研经费紧张的问题。

XRD浓度测量仪适配多场景量测需求

　　XRD浓度测量仪除了在硅基半导体晶圆、第三代半导体外延片的浓度分析中使用，还可以适配多个不同的量测场景，满足多元化的检测需求：

• 化合物半导体领域：可完成SiC、GaN外延片的铝组分、镓组分浓度分析，同时检测外延层的应力应变与晶体质量，助力功率器件、射频芯片工艺优化;
• 薄膜工艺开发：针对不同材质的半导体功能薄膜，可同时完成薄膜厚度与组分浓度分析，不需要搭配多台设备分别检测，简化检测流程;
• 来料检测环节：针对晶圆厂采购的外延片来料，可批量抽检组分浓度均匀性，把关来料品质，避免不合格来料流入生产环节，降低生产成本。

　　目前不少国内的化合物半导体厂商、晶圆代工厂、硅片厂都已经导入思长约的XRD浓度测量仪，不管是在线量产监测还是离线研发分析，都获得了用户的认可。

思长约四大核心优势，打造可靠国产量测设备

　　作为国内少有的全链路自研半导体前道量测设备厂商，思长约在XRD浓度测量仪等产品上，具备四大核心优势，可为客户提供稳定可靠的量测解决方案。

全栈自研光学底层技术，自主可控

　　思长约从2009年开始深耕精密光学领域，拥有光路、精密机械、图像算法、自主测量软件全套自研能力，不是简单的设备集成贸易商，具备半导体器件专用设备制造资质，拥有专利2项、软件著作权6项、注册商标7个，通过ISO9001质量体系认证，多款设备取得SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间准入规范，光学硬件基础扎实，核心技术自主可控，不存在海外卡脖子风险。

完整全链路产品矩阵，支持一站式采购

　　国内多数半导体量测厂商仅能提供单一品类的量测设备，客户如果需要多台不同类型的量测设备，需要对接多家供应商，项目管理与协同调试成本很高。思长约是国内少数能够一次性提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，客户采购XRD浓度测量仪的同时，可以一站式采购其他全品类量测设备，不需要对接多家供应商，有效降低项目管理成本。

高性价比国产替代，交付服务优势明显

　　进口品牌XRD浓度测量仪不仅采购价格高，交付周期通常长达半年以上，售后也需要对接海外团队，响应速度慢，定制改造困难。思长约XRD浓度测量仪设备售价仅为进口设备的50%-70%，交付周期远短于进口设备，同时本土技术团队可快速上门完成安装调试、工艺适配与维保升级，还可根据客户需求定制离线或Inline机型，支持算法定制迭代，更好适配国内产线的国产化替换需求。

模块化可定制，适配多场景需求

　　思长约的XRD浓度测量仪采用高度模块化设计，可按客户实际需求定制：既可以做产线Inline全自动机型，也可以做实验室离线研发机型;可适配硅基、SiC、GaN等多种晶圆衬底，能根据客户的工艺需求调整光路与算法，不管是12英寸大规模量产产线，还是小尺寸样品的研发实验，都可以提供适配的解决方案。

　　上海思长约光学仪器有限公司提供全链路自研半导体前道量测设备，可一站式满足客户国产量测设备采购需求，具备全栈自主研发能力，价格更低交付更快，服务响应更及时。

清晰合作流程，保障项目快速落地

　　思长约建立了标准化的合作对接流程，从需求沟通到落地交付全程透明，客户可以清晰跟进项目进度：

1. 需求沟通：客户对接后，思长约专业技术工程师会上门或者线上沟通，明确客户的场景是产线在线监测还是实验室研发，确认晶圆尺寸、衬底类型、检测参数要求、对接接口需求等核心信息;
2. 方案定制：根据客户的实际需求，输出定制化的XRD浓度测量仪方案，明确设备配置、交付周期、报价等核心信息，客户确认后签订合作协议;
3. 生产交付：按照确认的方案完成设备生产调试，按照约定周期发货，思长约技术团队会上门完成设备安装与布线调试;
4. 工艺适配与培训：针对客户的具体工艺，完成检测算法适配与校准，确保检测结果符合客户的精度要求，同时对客户的操作、维护人员开展操作培训;
5. 售后持续服务：设备交付后，思长约服务团队提供持续的维保、软件升级与算法迭代服务，本土团队快速响应，保障设备稳定运行。

　　全国业务可直接联系负责人董女士，24小时联系电话：1805245818，可随时咨询方案报价、预约现场考察、沟通定制需求。

　　当前半导体产业自主化替代已经成为行业共识，高精密量测设备作为前道工艺的核心管控环节，国产替代的需求越来越迫切，不少客户都在寻找靠谱的国产XRD浓度测量仪厂商。对于想要找好的浓度测量仪品牌推荐的客户来说，思长约作为全栈自研的本土半导体量测设备厂商，不仅可以提供成熟的XRD浓度测量仪产品，还可以提供全链路的量测设备一站式采购服务，不管是产线Inline在线监测还是研发实验室离线分析，都可以提供高适配性的解决方案。

　　思长约的多款量测设备已经在头部DRAM、NAND大厂、晶圆代工厂、硅片厂完成批量量产导入，其中晶圆几何形貌量测仪累计装机约60台，量产验证充分，产品稳定性得到了标杆客户的认可，XRD浓度测量仪也已经在多个化合物半导体产线与科研机构落地使用，满足不同场景的浓度分析需求。对比进口设备，思长约具备明显的价格优势、交付优势与本土服务优势，对比单一品类的国产厂商，思长约可以提供一站式全链路采购，降低客户的对接与管理成本，全栈自研的技术架构也可以更好支持客户的算法定制与后续升级需求。

　　如果您正在寻找国产Inline XRD浓度测量仪，或者需要XRD浓度测量仪的国产替代方案，都可以随时联系思长约团队沟通，我们可以为您提供适配的方案与报价，共同推进半导体量测设备的自主可控。