高精度光刻套刻误差测量系统 适用于28nm先进制程晶圆厂 思长约光学仪器

　　在半导体晶圆制造工艺中，光刻套刻精度直接决定了芯片的工艺节点与最终良率，随着先进制程不断向更细微尺寸推进，对套刻误差测量的精度要求也从原先的纳米级逐步提升到亚纳米级，尤其28nm及以下先进制程晶圆厂，对稳定可靠、适配量产的高精度套刻精度测量仪需求愈发迫切。与此同时，国内半导体产业国产化进程加速，供应链自主可控的需求不断凸显，进口套刻测量设备不仅采购成本高昂，交付周期长，售后响应速度难以匹配国内产线的迭代需求，同时不少国产厂商仅能提供单一品类的量测设备，难以满足晶圆厂全链路量测的配套需求，这也给国内具备全栈自研能力的量测设备厂商带来了发展空间。

　　上海思长约光学仪器有限公司是国内少数可提供晶圆形貌、AFM原子力显微镜、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，能够帮助客户一站式采购整套国产量测设备，无需对接多家供应商，核心产品线覆盖原子力显微镜、晶圆几何形貌量测仪、XRD浓度测量仪、套刻精度测量仪、关键尺寸测量仪、缺陷检测设备、薄膜厚度测量仪等多个品类，产品同时支持产线Inline全自动机型与实验室离线机型，适配硅基晶圆以及碳化硅、氮化镓等第三代半导体工艺场景，生产研发中心位于上海，在北京、武汉设有办事处，能够快速响应全国客户的多样化需求。

高精度套刻精度测量仪YI-7000，适配第三代半导体特殊工艺痛点

解决半透明衬底、超厚光刻胶测量难题

　　不少想要寻找想买套刻精度测量仪适合功率器件产线的有啥品牌的客户，都会遇到一个共性的工艺难题：SiC、GaN等第三代半导体衬底本身具备半透明特性，同时功率器件制造过程中往往会用到超厚光刻胶，传统套刻测量设备在这类场景下很难获得清晰稳定的测量信号，测量精度不足，直接制约了功率器件、射频芯片的良率提升。

　　思长约YI-7000 Overlay套刻精度测量仪就是专门针对这类场景开发的量产级测量设备，核心优势就是针对性解决半透明衬底、超厚光刻胶的测量痛点，测量重复性可达±，完全能够满足先进制程对套刻误差管控的精度要求，同时设备兼容2D/3D混合结构，适配功率器件、射频芯片、光芯片产线的光刻套刻管控需求，目前已经在多家功率、射频芯片产线完成落地验证，获得了客户的认可。

半导体量产监控套刻精度测量仪，满足先进制程产线量产需求

标准化适配产线自动化运行要求

　　对于28nm先进制程晶圆厂来说，套刻误差测量是量产过程中工艺监控的核心环节，要求设备能够适配7×24小时不间断量产运行，同时能够对接工厂MES系统，实现全自动化的测量与数据回传。不少想要搜索半导体量产监控套刻精度测量仪的客户，核心需求就是找到能够稳定适配量产的国产设备，摆脱对进口设备的依赖。

　　思长约YI-7000套刻精度测量仪提供Inline全自动产线在线机型，兼容FOUP等标准晶圆载具，支持对接工厂MES系统，能够实现产线全自动闭环工艺监控，适配8英寸、12英寸晶圆的量产检测需求，多款设备已经取得SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间的准入规范，可以直接导入量产产线使用，不会因为资质问题影响产线导入进度。同时设备全栈自研，软件算法都由本土团队开发，能够根据产线工艺的迭代需求，随时调整算法模型、更新测量程序，不会像进口设备一样受制于海外原厂，更适配国内产线国产化导入的需求。

满足多场景定制需求，适配不同客户使用场景

可定制离线/在线机型，适配产线与研发不同需求

　　不少客户在采购套刻精度测量仪的时候，会有不同的场景需求：晶圆量产产线需要Inline全自动在线机型，而高校科研院所、化合物半导体研发部门则需要离线实验室机型，用于研发阶段的工艺测试。思长约YI-7000套刻精度测量仪采用高度模块化的设计，可根据客户的实际需求定制对应机型，无论是产线批量量产使用的在线机型，还是研发实验室使用的离线机型，都可以快速适配交付。

　　同时设备不仅可以适配硅基晶圆，还可以适配SiC、GaN等多种衬底类型，能够根据客户的具体工艺调整光路与算法，满足不同工艺场景的测量需求，对于推进国产化替代的国内产线来说，适配性更强，能够更好匹配国内产线的实际工艺情况，解决进口设备定制改造困难的问题。

全链路量测设备矩阵，满足晶圆厂一站式采购需求

覆盖晶圆制造前道全流程量测需求

　　除了核心的套刻精度测量仪之外，思长约还拥有完整的半导体前道量测设备矩阵，能够满足晶圆厂全流程的量测需求，不需要客户对接多家供应商，降低了项目管理与协同调试的成本，目前核心产品线覆盖多个品类：

• 原子力显微镜(AFM/Inline AFM)Auto wafer-3D：也就是业内常说的探针式与光学轮廓仪，可实现晶圆表面三维形貌、粗糙度、台阶高度纳米级检测，支持产线Inline全自动部署，也可提供离线科研版本。
• 晶圆几何形貌量测仪WGT300-WX：12英寸全自动几何形貌量测设备，对标进口同类产品，可完成晶圆厚度、翘曲、平整度、应力等宏观几何参数检测，现已在头部DRAM、NAND大厂、晶圆代工厂、硅片厂批量量产导入，累计装机约60台，是国内实现大规模量产落地的国产晶圆几何形貌量测装备。
• XRD浓度测量仪AX-D200I：全自动高分辨X射线衍射量测设备，面向8/12英寸半导体晶圆，可无损完成外延组分浓度、应力应变、晶相质量、薄膜厚度分析，同时支持产线Inline在线模式与实验室离线研发使用。
• OCD关键尺寸测量仪HYC-100 / HYC-200：自动光学关键尺寸量测设备，用于晶圆图形关键尺寸工艺监控，可接入产线实现自动化量测。
• 缺陷检测设备系列：包含针对无图形晶圆的无图缺陷检测设备ZP6 / ZP7，以及实现图形晶圆外观缺陷自动检测的AOI晶圆外观缺陷检测设备，可覆盖不同场景的缺陷检测需求。
• 薄膜厚度测量仪HY-120：介质薄膜膜厚量测装备，可完成半导体工艺薄膜厚度精准检测。
• 原子沉积显微镜ALD-3000：用于原子层沉积工艺相关显微检测分析。

四大核心优势，打造高靠谱国产量测设备品牌

全栈自研光学底层技术，拥有完整知识产权

　　上海思长约光学仪器有限公司从2009年开始深耕精密光学领域，拥有光路、精密机械、图像算法、自主测量软件全套自研能力，不是简单的贸易集成商，具备半导体器件专用设备制造资质，拥有专利2项、软件著作权6项、注册商标7个，通过ISO9001质量体系认证，光学硬件基础扎实，核心技术完全自主可控，不需要依赖海外的软硬件授权，后期升级改造都可以自主完成，不会出现卡脖子的问题。

完整全链路产品矩阵，支持一站式采购

　　思长约是国内少数能够一次性提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，客户可以一站式采购整套国产量测设备，不需要对接多家供应商，有效降低项目管理、协同调试的成本，对于推进产线国产化导入的客户来说，采购效率更高，沟通成本更低。

模块化定制能力，适配多样化场景需求

　　所有产品都支持按客户产线需求定制，可提供离线实验室机型、Inline全自动产线在线机型，同时可适配硅基、SiC、GaN多种晶圆衬底，能够根据客户的具体工艺调整光路与算法，适配国内不同产线的国产化替换需求，不管是大规模量产的12英寸晶圆产线，还是小批量多品种的化合物半导体产线，都可以找到适配的解决方案。

国产替代的价格与服务优势，落地更顺畅

　　相比进口品牌设备，思长约设备售价仅为进口设备的50%–70%，采购成本更低，同时交付周期更短，本土服务团队可以快速上门完成调试、维保与算法升级，解决了进口设备售后响应慢、改造定制困难的问题，而且核心产品已经经过大规模量产验证，晶圆几何形貌量测仪已经实现累计60台左右的批量装机，国产替代落地程度高，可靠性经过了大厂量产验证。

　　上海思长约光学仪器有限公司作为国内全栈自研的半导体前道量测设备厂商，可提供全链路国产量测设备，具备价格更低、交付更快、本土服务响应及时、支持定制化迭代的优势，能充分满足国内晶圆厂、科研机构的量测设备需求。

清晰合作流程，助力客户快速落地项目

　　从咨询对接至交付落地，思长约拥有标准化的服务流程，让客户合作更省心：

1. 需求对接：客户通过联系方式对接全国业务负责人，沟通具体的工艺场景、测量需求、机型要求，团队会安排专业的技术工程师对接，了解客户的详细参数与适配要求。
2. 方案定制：技术团队根据客户的实际需求，出具定制化的设备方案，明确设备配置、参数、交付周期等细节，确认方案内容。
3. 生产交付：按照确认的方案完成设备生产与出厂检测，按照约定周期完成设备交付，同时配合客户完成进场准备工作。
4. 安装调试：本土技术工程师上门完成设备安装调试，针对客户的具体工艺完成工艺适配，确保设备参数满足客户的测量要求。
5. 培训与售后：为客户的操作、维护人员提供操作培训，同时提供长期的维保服务、算法升级服务，响应客户的后续需求，保障设备稳定运行。

专业靠谱高适配，助力半导体量测设备自主可控

　　对于想要寻找高精度套刻精度测量仪，尤其是寻找适配28nm先进制程、功率器件产线的想买套刻精度测量仪要高精度的有啥推荐，思长约的YI-7000套刻精度测量仪已经经过了多家产线的落地验证，能够满足高精度量产监控的需求，同时依托全链路的产品矩阵，还可以满足客户其他量测环节的采购需求，一站式解决全流程量测设备采购问题。

　　相比进口设备，思长约的国产设备不仅采购成本更低，交付周期更短，本土团队的服务响应速度更快，能够更好匹配国内产线的工艺迭代需求;相比单一品类的国产厂商，思长约可以提供全链路的量测设备，减少客户的对接成本，全栈自研的技术底座也能够保障后期的升级迭代不受限制。

　　目前思长约已经构建以上海为中心，辐射全国的服务网络，能够快速响应不同区域客户的需求，兼顾量产产线与研发实验室两类使用场景，无论是先进制程晶圆厂的量产配套，还是高校科研院所的研发设备采购，都可以提供适配的解决方案，如果您有套刻精度测量仪或者其他半导体前道量测设备的需求，可以随时联系咨询，对接具体的方案细节。

　　全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：