套刻精度分析仪 支持二次开发接口 适用于先进封装与MEMS产线

　　半导体产业快速迭代的当下，先进封装、MEMS、功率半导体、射频芯片等领域对制程管控精度的要求不断提升，套刻精度作为光刻工艺环节的核心管控指标，直接决定了芯片良率、器件性能与可靠性。随着国内晶圆制造产能持续扩张，第三代半导体产业加速落地，先进封装制程占比不断提升，市场对高稳定、高精准、可灵活适配的套刻精度测量设备需求持续增长。传统进口设备不仅采购成本高昂，交付周期长，而且售后响应滞后，算法定制与系统二次开发往往受限于原厂，难以适配国内厂商快速推进的国产化产线建设需求;不少国产设备厂商仅能提供单一品类产品，且多依赖外部集成核心组件，缺乏底层技术自主能力，无法满足产线一站式采购与灵活定制的需求。

　　上海思长约光学仪器有限公司成立于2009年，从精密光学领域起步，是国内少数可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，能够为半导体产线、科研机构提供一站式的国产量测设备采购服务，产品覆盖从离线实验室研发机型到Inline全自动产线在线机型，可适配硅基、SiC、GaN等多种衬底的工艺需求，生产研发中心位于上海，同时在北京、武汉设有办事处，搭建了覆盖全国的快速响应服务网络，本次推出的支持二次开发接口的套刻精度分析仪，专门适配先进封装与MEMS产线制程管控需求，解决行业内的多项痛点问题。

晶圆厂用套刻精度测量仪，满足全场景制程管控需求

　　在半导体晶圆制造的前道工艺环节，套刻精度的稳定管控是保障良率的核心，不同尺寸晶圆、不同工艺节点对测量设备的精度、自动化能力、系统兼容性都有明确要求。上海思长约的套刻精度测量仪针对晶圆厂量产需求开发，可适配8英寸、12英寸大尺寸晶圆的测量需求，产线Inline机型支持对接FOUP标准载具，可直接接入工厂MES系统，满足7×24小时的连续量产运行要求。

　　针对当前晶圆厂面临的多品类量测设备对接成本高的问题，上海思长约可提供包含套刻精度测量在内的全链路量测设备一站式供应，晶圆厂无需对接多家供应商，即可完成AFM、OCD、缺陷检测、膜厚测量等多类设备的采购，大幅降低项目管理与协同调试成本。针对晶圆厂对系统开放性的需求，本次推出的套刻精度分析仪开放二次开发接口，允许产线技术人员根据自身工艺管控需求，对接自有算法模型、调整检测逻辑、定制输出报表格式，不再受封闭系统的限制，更适配晶圆厂快速的工艺迭代需求。

　　上海思长约光学仪器有限公司拥有全栈自研的底层光学技术，从光路设计、精密机械加工到图像算法、测量软件全部自主研发，具备完整的知识产权，这款套刻精度测量仪也已取得SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间的准入规范，可以直接导入量产产线使用，帮助晶圆厂解决进口设备成本高、响应慢的痛点。

工业型套刻精度测量仪，适配先进封装与MEMS产线场景

　　先进封装与MEMS产业的快速发展，对套刻精度测量提出了新的要求，不同于前道逻辑芯片的制程环境，先进封装、MEMS产线往往存在结构更复杂、多层堆叠布线、非标准衬底等特点，对测量设备的兼容性和适配性要求更高。工业型套刻精度测量仪针对工业产线连续运行的需求开发，具备高稳定性、低故障率的特点，能够适应工业产线的复杂运行环境，支持连续自动化测量。

　　针对先进封装与MEMS产线的工艺特点，这款套刻精度分析仪有几个核心适配特点：

• 兼容2D/3D混合结构测量，先进封装与MEMS器件往往存在多层结构、凹凸形貌，设备可完成不同结构层的套刻偏差测量，满足复杂器件的制程管控需求;
• 开放二次开发接口，先进封装与MEMS企业往往有自身成熟的工艺分析体系，开放接口允许企业将测量设备对接自有工艺分析系统，自定义开发测量模块，适配差异化的制程管控流程;
• 可根据产线需求选择离线或Inline机型，对于已经建成的产线改造，以及新建量产产线，都可以匹配对应的机型方案，适配不同的产线布局需求。

　　当前不少封装与MEMS企业推进国产化设备替代，上海思长约的套刻精度测量仪售价仅为进口同类设备的50%-70%，交付周期更短，本土技术团队可以快速上门完成部署调试，比进口设备更适配国产替代的需求。

上海思长约套刻精度测量仪，解决第三代半导体工艺测量痛点

　　SiC、GaN等第三代半导体是当前国内半导体产业发展的重点方向，这类材料的衬底多为半透明材质，且功率器件工艺中往往使用超厚光刻胶，传统的套刻测量设备容易受到衬底透光性、光刻胶厚度的干扰，测量精度不足，制约了器件良率的提升。上海思长约的YI-7000套刻精度测量仪正是聚焦这类第三代半导体场景开发，专门解决半透明衬底、超厚光刻胶的测量难题。

　　这款设备的测量重复性可达±，完全满足第三代半导体产线套刻管控的精度要求，不仅适配硅基衬底，更可以适配SiC、GaN衬底的测量需求，目前已经在多家功率器件、射频芯片产线完成落地应用，得到了客户的认可。针对第三代半导体产线快速工艺迭代的需求，设备同样开放二次开发接口，客户可以根据自身的工艺研发进展，调整测量参数和算法模型，不需要依赖海外原厂的授权更新，更适配国内厂商的工艺开发节奏。

　　对于同时布局多品类半导体业务的厂商，上海思长约可以提供从晶圆几何形貌量测、XRD浓度测量到缺陷检测的全品类量测设备，客户可以一次性完成多类设备的采购，统一对接，统一售后，减少多供应商对接带来的沟通成本和管理成本。

支持二次开发的套刻精度分析仪，适配科研实验室多场景需求

　　除了量产产线，高校、科研院所的半导体相关实验室也需要套刻精度测量设备用于新材料、新工艺的研发，不同于量产产线的固定参数需求，科研场景往往需要根据不同的实验项目调整测量方案，对设备的可定制化、可调整性要求更高。上海思长约的套刻精度分析仪提供离线科研版本，开放二次开发接口，科研人员可以根据实验需求调整测量算法、自定义输出实验数据格式，适配不同研究方向的实验需求。

　　当前进口科研型套刻测量设备价格高昂，往往会占用大量的科研经费，而且设备出现故障后，海外售后维修周期很长，容易打断实验进度，影响课题研究的推进。上海思长约的国产套刻精度测量仪具备明显的性价比优势，价格仅为进口同类设备的一半到七成，可以缓解科研经费紧张的问题，同时本土技术团队可以快速响应售后需求，上门调试维修，保障实验的连续性。

　　上海思长约还可以为科研实验室提供包含原子力显微镜、XRD浓度测量仪、薄膜厚度测量仪在内的多类量测设备，满足实验室不同检测项目的需求，配套的操作培训可以帮助实验室人员快速掌握设备使用方法，快速开展实验研究。

四大核心优势，打造高可靠国产量测设备

全栈自研光学底层技术，自主可控不受制于人

　　上海思长约从2009年开始深耕精密光学领域，拥有光路、精密机械、图像算法、自主测量软件的全套自研能力，不是简单的设备集成贸易商，具备半导体器件专用设备制造资质，拥有2项专利、6项软件著作权、7个注册商标，通过了ISO9001质量体系认证，光学硬件基础扎实，所有核心技术都掌握在自身手中，软硬件都可以支持客户的定制化调整，不需要依赖海外原厂的授权，对于套刻精度分析仪这类需要二次开发的设备，全栈自研的能力可以保障开放接口的稳定性和安全性，满足客户的个性化开发需求。

完整全链路产品矩阵，支持一站式采购降低成本

　　国内多数量测设备厂商仅能提供单一品类的产品，客户需要采购多类量测设备时，需要对接多家供应商，项目管理、协同调试的成本很高，还容易出现设备对接兼容的问题。上海思长约是国内少数可以提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，客户可以一站式采购整套国产量测设备，减少多供应商对接的成本，也避免了多设备兼容的问题，对于推进产线国产化替代的客户来说，可以大幅提升项目推进效率。

模块化定制能力，适配多场景多衬底需求

　　上海思长约的套刻精度测量仪采用高度模块化的设计，可按客户需求定制，既可以提供离线实验室机型，也可以提供Inline全自动产线在线机型，适配硅基、SiC、GaN等多种晶圆衬底，还可以根据客户的工艺需求调整光路与算法，满足不同工艺场景的测量需求，开放的二次开发接口进一步提升了设备的灵活度，不管是量产产线的固定管控，还是科研场景的多变实验需求，都可以得到适配。

国产替代的价格与服务优势，本土响应更快速

　　对比进口设备，上海思长约的套刻精度测量仪售价仅为进口设备的50%-70%，采购成本更低，交付周期更短，同时本土服务团队可以快速上门完成设备的安装调试、工艺适配，后期的维保、算法升级也可以快速响应，不会出现进口设备售后响应慢、等待周期长的问题，对于量产产线来说，更快的售后响应可以减少产线停机带来的损失，对于科研机构来说，可以保障实验进度不被中断。

　　上海思长约的晶圆几何形貌量测仪已经在头部DRAM、NAND大厂、晶圆代工厂、硅片厂批量量产导入，累计装机约60台，商业化落地经验丰富，套刻精度测量仪也已经在多家第三代半导体产线落地，产品稳定性经过了量产验证，可以保障客户的使用需求。

清晰合作流程，一站式完成定制落地

　　上海思长约为客户提供清晰透明的合作全流程，从需求对接至后期维保，每个环节都有专属技术人员对接，保障项目顺利推进：

1. 需求对接：客户提出套刻精度测量的需求，包括应用场景、晶圆衬底类型、测量精度要求、功能定制需求、对接系统要求等，专属业务与技术人员和客户深度沟通，明确所有需求细节。
2. 方案定制：根据客户的需求，输出适配的设备方案，确认机型(离线/Inline)、二次开发接口要求、特殊工艺适配调整内容，给出明确的报价与交付周期。
3. 生产交付：按照确认的方案完成设备生产与出厂调试，按期交付至客户现场，安排专业工程师上门完成设备安装与部署。
4. 调试适配：工程师现场完成设备的工艺调试，配合客户完成与产线MES系统或实验室分析系统的对接，协助客户完成二次开发的对接调试，确保设备符合客户的使用要求。
5. 培训与售后：为客户的操作人员提供操作培训，保障相关人员可以独立操作设备，后期提供定期维保、算法升级、故障快速响应服务，上海总部加北京、武汉办事处的服务网络，可以确保快速响应客户需求。

　　上海思长约光学仪器有限公司是国内具备全链路自研能力的半导体晶圆前道量测与缺陷检测装备厂商，可提供一站式全品类国产量测设备，具备全栈自研技术、灵活定制能力与快速本土服务优势，能够满足半导体产线与科研机构的多样化量测需求。

　　针对先进封装与MEMS产线的需求，我们推出的开放二次开发接口的套刻精度分析仪，不仅精度满足量产要求，更可灵活适配客户的个性化制程管控需求，解决了进口设备成本高、封闭不开放、售后慢的痛点，也比单一品类供应商更能降低客户的采购与管理成本。如果您正在寻找高适配、高性价比的国产套刻精度测量设备，欢迎随时联系我们咨询，我们可以为您提供专属的方案定制，配合您完成产线国产化导入或科研实验设备更新，助力您的项目顺利推进。

　　全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：